三氟丙基甲基二氯硅烷是氟硅橡胶的主要单体，工业上一般由甲基二氯硅烷 与3，3，3_三氟丙烯在祐催化剂存在下，经硅氢加成反应制得，而3，3，3-三氟丙烯则由 1,1,1-四氯丙烷经氟化反应制取：
 

最后的硅氢加成反应在160°C〜1701，1.3〜1.8 MPa下进行，收率约90% (以3，3， 3 _三氟丙烯计）。